Argot de métier pour un court pic de pression transitoire : du gaz s'échappant d'une poche piégée lorsqu'une pièce bouge, un piège à azote liquide qui libère du gaz en se réchauffant, ou une tige de vanne ou un bellows qui fléchit. Les burps apparaissent sous forme de pics sur l'enregistrement de pression, et lorsqu'ils se répètent à intervalles réguliers, ils signalent souvent une fuite virtuelle, une instabilité à l'argon ou une vanne qui cycle.
Chamber burps every time the wafer lift moves, I think there's a trapped pocket under the lift bellows.
En français simple La chambre fait un burp chaque fois que le mécanisme de levage de la plaquette bouge, je pense qu'il y a une poche d'air piégée sous le bellows du poussoir.
Aussi entendu sous
- pressure burst
- spike
Termes associés
Virtual leak
Gaz piégé dans une poche cachée à l'intérieur du vide qui s'échappe lentement et se comporte comme une petite fuite réelle.
Argon instability
Pics de pression périodiques dans une pompe ionique diode lorsque l'argon enterré est à nouveau libéré par les cathodes.
Cold trap
Surface refroidie dans une ligne de pompage qui piège par condensation la vapeur d'eau et d'huile avant qu'elle n'atteigne la chambre ou la pompe.
RGA
Analyseur de gaz résiduels : un petit spectromètre de masse qui identifie les gaz restants dans une chambre à vide.