Frase de la jerga del oficio para la primera etapa de un pump-down: abrir la válvula de vacío previo para que la bomba mecánica o seca evacue la cámara desde la presión atmosférica hasta la presión de transición. En sistemas manuales es una secuencia de válvulas deliberada (válvula de alto vacío cerrada, válvula de línea de respaldo cerrada y luego válvula de vacío previo abierta), y equivocarse en el orden puede descargar una cámara llena de aire en una bomba de difusión caliente o en una turbomolecular en rotación.
Rough it out to 100 millitorr, close the roughing valve, open the foreline, then crack the gate.
En español sencillo Haga el rough out hasta 100 militorr, cierre la válvula de vacío previo, abra la de la línea de respaldo y luego abra ligeramente la de compuerta.
También se escucha como
- rough down
- rough
- roughing
Términos relacionados
Roughing pump
Bomba que lleva una cámara desde la presión atmosférica hasta la presión en la que la bomba de alto vacío puede tomar el relevo.
Crossover
Punto en un pump-down donde el bombeo cambia de la bomba de vacío previo a la bomba de alto vacío.
Soft pump
Vacío previo lento y estrangulado desde la atmósfera que evita levantar partículas y condensar la humedad.
Pump down
Evacuar una cámara desde la presión atmosférica hasta su presión de trabajo, pasando por el vacío previo, el punto de transición y el alto vacío.