La presión en la que se estabiliza un sistema montado tras un bombeo definido, a menudo de 12 o 24 horas, con todo el gas de proceso cerrado. Refleja todo el sistema: bombas, conductancias, fugas y desgasificación de cada superficie. Las plantas de semiconductores comprueban la presión base antes de las series de producción o en cada turno como una prueba rápida de estado, y una presión base que sube gradualmente suele ser el primer indicio de una fuga, una cámara húmeda o una bomba agotada.
Base came back at 8E-7 this morning instead of the usual 2E-7, I'm leak-checking before we release the tool.
En español sencillo Base came back at 8E-7 this morning instead of the usual 2E-7, I'm leak-checking before we release the tool.
Cuando alguien pregunta cuál es la presión base, quiere saber el número y cuántas horas ha estado bombeando; una presión base sin un tiempo de bombeo dice muy poco.
También se escucha como
- base
No lo confunda con
- Ultimate pressure: Ultimate pressure es el límite de la ficha técnica de una bomba en una cúpula de prueba limpia, mientras que base pressure es lo que realmente alcanza su propia cámara.
Términos relacionados
Ultimate pressure
La presión más baja que puede alcanzar una bomba en una cúpula de prueba limpia y sellada, según se indica en su ficha técnica.
Pump-down curve
Gráfico de la presión de la cámara frente al tiempo durante un pump-down, utilizado como la huella digital de un sistema sano.
Rate of rise
Prueba que aísla una cámara bombeada y registra la rapidez con la que sube la presión, para estimar fugas y desgasificación.
Outgassing
Liberación lenta de gas desde las superficies y el interior de los materiales dentro de un sistema de vacío.