Presiones de aproximadamente 10⁻³ a 10⁻⁷ mbar. El camino libre medio va desde centímetros hasta cientos de metros, superando el tamaño de la cámara, por lo que el gas se encuentra en flujo molecular y las paredes, no el volumen de gas, aportan la mayor parte de la carga de gas. Para alcanzarlo se necesita una bomba turbomolecular, criogénica o de difusión respaldada o pre-vaciada por una bomba mecánica, y la presión se mide con vacuómetros de ionización. El recubrimiento de lámina delgada, la microscopía electrónica y la espectrometría de masas operan en este rango.
Coater only gets to high vacuum after the cryo opens, before that it's all roughing pump.
En español sencillo Coater only gets to high vacuum after the cryo opens, before that it's all roughing pump.
También se escucha como
- HV
- hi-vac
Términos relacionados
Medium vacuum
La franja entre aproximadamente 1 y 10⁻³ mbar, donde el flujo de gas pasa de comportarse como un fluido a hacerlo molécula a molécula.
UHV
Vacío ultraalto (ultra-high vacuum): presiones inferiores a unos 10⁻⁷ mbar, que solo se alcanzan con sistemas horneados y con juntas metálicas.
Molecular flow
Régimen de flujo en el que las moléculas rebotan entre las paredes casi sin encontrarse entre sí.
Turbomolecular pump
Bomba de alto vacío cuyos álabes del rotor giran a decenas de miles de rpm y golpean las moléculas hacia el escape.
Ionization gauge
Medidor que lee el alto y ultra alto vacío ionizando las moléculas de gas y midiendo la corriente de iones resultante.