El rango que va desde aproximadamente 1 mbar hasta 10⁻³ mbar, denominado vacío fino en gran parte de Europa. El camino libre medio crece hasta el mismo orden de magnitud que las dimensiones de las tuberías y de la cámara, por lo que el flujo es transicional, y la conducción de calor a través del gas depende en gran medida de la presión, que es exactamente el efecto que aprovecha un vacuómetro Pirani. La liofilización, muchos procesos de grabado por plasma y pulverización catódica (sputtering), y el tratamiento térmico al vacío se realizan en esta franja.
Etch runs at 50 millitorr, that's medium vacuum, so the baratron runs the throttle and the ion gauge stays off.
En español sencillo Etch runs at 50 millitorr, that's medium vacuum, so the baratron runs the throttle and the ion gauge stays off.
También se escucha como
- fine vacuum
Términos relacionados
Rough vacuum
El rango de presión desde la atmósfera hasta aproximadamente 1 mbar, donde el gas todavía fluye como un fluido.
High vacuum
El rango de aproximadamente 10⁻³ a 10⁻⁷ mbar, donde las moléculas chocan principalmente con las paredes y no entre sí.
Transitional flow
Régimen de flujo intermedio entre el viscoso y el molecular, donde importan tanto los choques contra las paredes como los choques intermoleculares.
Pirani gauge
Medidor de conductividad térmica que lee la presión a partir de la rapidez con la que el gas transporta el calor fuera de un hilo caliente.