La plage allant d'environ 1 mbar à 10⁻³ mbar, appelée vide moyen (ou vide fin dans une partie de l'Europe). Le libre parcours moyen devient du même ordre de grandeur que les dimensions des conduites et de la chambre, de sorte que l'écoulement est transitoire, et la conduction thermique à travers le gaz dépend fortement de la pression, ce qui est précisément l'effet exploité par une jauge Pirani. La lyophilisation, de nombreux procédés de gravure plasma et de pulvérisation cathodique, ainsi que le traitement thermique sous vide se déroulent dans cette bande.
Etch runs at 50 millitorr, that's medium vacuum, so the baratron runs the throttle and the ion gauge stays off.
En français simple La gravure tourne à 50 millitorr, c'est du medium vacuum, donc le baratron gère la vanne de régulation et la jauge à ionisation reste éteinte.
Aussi entendu sous
- fine vacuum
Termes associés
Rough vacuum
La plage de pression allant de l'atmosphère jusqu'à environ 1 mbar, où le gaz s'écoule encore comme un fluide.
High vacuum
La plage allant d'environ 10⁻³ à 10⁻⁷ mbar, où les molécules heurtent principalement les parois plutôt que de s'entrechoquer.
Transitional flow
Régime d'écoulement intermédiaire entre le visqueux et le moléculaire, où les collisions avec les parois et les collisions intermoléculaires comptent toutes deux.
Pirani gauge
Jauge à conductivité thermique qui mesure la pression à partir de la rapidité avec laquelle le gaz évacue la chaleur d'un fil chaud.