Abréviation de micron de mercure, la pression d'une colonne de mercure d'un micromètre de haut, ce qui équivaut à un millitorr ou environ 0,133 Pa. Les opérateurs de fours sous vide, les ateliers de traitement de surface et les techniciens en réfrigération américains lisent leurs jauges à thermocouple et Pirani en microns, et descendre un système de réfrigération à 500 microns est un objectif d'évacuation standard. Mis à part l'origine du nom, il n'a rien à voir avec le micron en tant qu'unité de longueur.
Furnace pulled down to 40 microns but the leak-up is 15 microns an hour, that won't pass.
En français simple Le four est descendu à 40 microns mais la remontée de pression est de 15 microns par heure, cela ne passera pas.
Les techniciens du traitement thermique et du CVC pensent en microns tandis que les ingénieurs des usines de puces parlent de millitorr, c'est la même valeur, donc 300 microns équivalent à 0,3 Torr.
Aussi entendu sous
- millitorr
- mTorr
Termes associés
Torr
Unité de pression égale à 1/760 d'une atmosphère normale, soit environ 1,333 mbar, et l'unité par défaut dans les laboratoires et usines américains.
Rate of rise
Test consistant à isoler une chambre pompée et à suivre la vitesse de remontée de la pression pour estimer les fuites et le dégazage.
Pirani gauge
Jauge à conductivité thermique qui mesure la pression à partir de la rapidité avec laquelle le gaz évacue la chaleur d'un fil chaud.