L'ultra-vide (UHV), considéré comme inférieur à 10⁻⁷ mbar, et en science des surfaces généralement inférieur à 10⁻⁹ mbar. À ces pressions, une surface fraîchement nettoyée reste propre pendant des heures au lieu de quelques secondes, de sorte que l'UHV est la plage de travail pour l'analyse de surface, les accélérateurs de particules et l'épitaxie par jets moléculaires. Pour y parvenir, il faut des joints métalliques CF, un étuvage entre 150 et 250 °C, des matériaux à faible dégazage et des pompes à piégeage comme les pompes ioniques et les NEGs, et le gaz résiduel est alors principalement composé d'hydrogène provenant des parois en acier.
System's been UHV for a month, low 10 to the minus eleven on the B-A, so nobody touch that gate valve.
En français simple Le système est en UHV depuis un mois, à un niveau bas de 10 puissance moins onze sur la jauge B-A, donc personne ne touche à cette vanne tiroir.
En dessous d'environ 10⁻¹² mbar, on commence à parler d'XHV (extrême vide), et les jauges elles-mêmes deviennent l'une des plus grandes sources de gaz.
Aussi entendu sous
- ultra-high vacuum
- ultrahigh vacuum
Termes associés
High vacuum
La plage allant d'environ 10⁻³ à 10⁻⁷ mbar, où les molécules heurtent principalement les parois plutôt que de s'entrechoquer.
Bake-out
Chauffage d'un système sous vide pendant le pompage pour chasser l'eau et les autres gaz adsorbés afin d'abaisser la pression limite.
CF flange
Bride entièrement métallique qui assure l'étanchéité par pénétration de couteaux dans un joint en cuivre souple, le raccord standard pour l'UHV.
Ion pump
Pompe à transfert qui ionise le gaz dans une décharge magnétique haute tension et enterre les ions dans le titane.
NEG
Getter non évaporable: alliage poreux qui pompe les gaz actifs une fois activé par chauffage sous vide.