Pressions d'environ 10⁻³ à 10⁻⁷ mbar (vide secondaire). Le libre parcours moyen s'étend de quelques centimètres à des centaines de mètres, soit plus que la taille de la chambre, de sorte que le gaz est en écoulement moléculaire et ce sont les parois, et non le volume de gaz, qui fournissent la majeure partie de la charge de gaz. Pour l'atteindre, il faut une pompe turbomoléculaire, cryogénique ou à diffusion, assistée ou pré-vidée par une pompe mécanique, et la pression est lue avec des jauges à ionisation. Le dépôt de couches minces, la microscopie électronique et la spectrométrie de masse se situent dans cette plage.
Coater only gets to high vacuum after the cryo opens, before that it's all roughing pump.
En français simple Le système de dépôt n'atteint le high vacuum qu'après l'ouverture de la vanne cryogénique, avant cela tout repose sur la pompe de prévide.
Aussi entendu sous
- HV
- hi-vac
Termes associés
Medium vacuum
La bande située entre environ 1 et 10⁻³ mbar, où l'écoulement du gaz passe d'un comportement fluide à un comportement molécule par molécule.
UHV
Ultra-vide : pressions inférieures à environ 10⁻⁷ mbar, atteintes uniquement avec des systèmes étuvés et à joints métalliques.
Molecular flow
Régime d'écoulement dans lequel les molécules rebondissent entre les parois presque sans se rencontrer.
Turbomolecular pump
Pompe à vide poussé dont les aubes du rotor tournent à des dizaines de milliers de tr/min et projettent les molécules vers le refoulement.
Ionization gauge
Jauge qui mesure le vide poussé et l'ultra-vide en ionisant les molécules de gaz et en mesurant le courant ionique résultant.