Gaz provenant de l'intérieur du système lui-même : désorption de l'eau et d'autres molécules des surfaces, diffusion de gaz hors du volume (hydrogène de l'acier inoxydable) et vapeurs de plastiques, d'adhésifs et de lubrifiants. Les taux sont exprimés par unité de surface en mbar·L/(s·cm²). L'acier inoxydable non étuvé dégage environ 10⁻⁹ après une dizaine d'heures de pompage, diminuant de manière inversement proportionnelle au temps. C'est l'outgassing, et non les fuites, qui détermine la pression limite de la plupart des systèmes à vide poussé.
Pressure isn't a leak, it's outgassing from that new cable bundle, it'll come down if we bake it.
En français simple La pression n'est pas due à une fuite, c'est de l'outgassing provenant de ce nouveau faisceau de câbles, elle va baisser si nous l'étuvons.
L'outgassing des parois diminue à peu près comme l'inverse du temps de pompage, donc doubler le temps de pompage réduit environ de moitié le gaz provenant des surfaces non étuvées.
Aussi entendu sous
- offgassing
Termes associés
Bake-out
Chauffage d'un système sous vide pendant le pompage pour chasser l'eau et les autres gaz adsorbés afin d'abaisser la pression limite.
Wet
Se dit d'une chambre dont les parois contiennent encore de l'eau adsorbée, ce qui ralentit le pompage et bloque la pression à un niveau élevé.
Permeation
Passage de gaz à travers les parois solides ou les joints d'un système sous vide par dissolution puis diffusion.
Virtual leak
Gaz piégé dans une poche cachée à l'intérieur du vide qui s'échappe lentement et se comporte comme une petite fuite réelle.
Gas load
Débit de gaz total qu'un système de pompage doit évacuer, combinant le gaz de procédé, les fuites, le dégazage et la perméation.
Même mot, mondes différents
Gaz s'échappant d'un substrat poreux pendant la cuisson et créant des piqûres, des bulles ou des cratères à travers le film.
Mastics et étanchéitéDu gaz s'échappant dans un mastic ou une membrane en cours de polymérisation à cause d'un fond de joint perforé ou d'un béton humide, laissant des bulles et des piqûres.