Cycle qui vide une cryopompe saturée: les étages froids sont réchauffés, généralement avec des réchauffeurs et une purge d'azote sec, les gaz libérés sont pompés par la pompe primaire, puis la pompe est refroidie à nouveau à sa température de fonctionnement. Un regen complet prend plusieurs heures, tandis qu'un regen rapide ou partiel ne réchauffe qu'une partie de la pompe. Les techniciens planifient les régénérations en fonction de la charge accumulée d'argon ou d'hydrogène, ou lorsque la température du deuxième étage dérive au-dessus d'environ 20 K.
Cryo on PVD 2 is in regen till about 3 a.m., don't queue any lots on that chamber.
En français simple La cryo sur la PVD 2 est en regen jusqu'à environ 3 heures du matin, ne lancez aucun lot sur cette chambre.
Aussi entendu sous
- regeneration
- regen cycle
Termes associés
Cryopump
Pompe à transfert qui congèle et adsorbe les gaz sur des surfaces refroidies à environ 10 à 20 K par un réfrigérateur à cycle fermé.
Crossover
Point d'un pompage où le pompage bascule de la pompe de prévide à la pompe à vide poussé.
Rough out
Pomper une chambre remise à l'atmosphère jusqu'au point de transition avec la pompe de prévide, avant l'ouverture de la vanne de vide poussé.
Même mot, mondes différents
Forme abrégée d'amplificateur régénératif (regenerative amplifier), la cavité qui piège une impulsion d'injection pour lui faire effectuer de nombreux passages de gain avant de la libérer.
Réparation automobile et voituresLe processus de récupération de l'énergie cinétique lors de la décélération dans les véhicules électriques et hybrides.