La velocidad observada en el puerto de la cámara una vez calculada la conductancia de todo lo que hay entre ella y la bomba: 1/S_eff = 1/S + 1/C. Siempre es inferior a la velocidad nominal, y en flujo molecular puede ser drásticamente menor, ya que una línea larga y estrecha puede desperdiciar la mayor parte de la capacidad de una bomba grande. Los diseñadores atornillan las bombas de alto vacío directamente a la cámara a través de la válvula más corta y ancha disponible para mantener la S_eff cerca de la S.
Effective pumping speed at the wafer is maybe 40 percent of nameplate with that gate valve and baffle in the way.
En español sencillo La effective pumping speed en la oblea es de tal vez el 40 por ciento de la nominal con esa válvula de compuerta y el deflector de por medio.
También se escucha como
- net pumping speed
- S_eff
Términos relacionados
Pumping speed
Volumen de gas que una bomba extrae de su entrada por unidad de tiempo, medido a la presión de entrada.
Conductance
Facilidad con la que un tubo, orificio o válvula deja pasar el gas, expresada en litros por segundo.
Molecular flow
Régimen de flujo en el que las moléculas rebotan entre las paredes casi sin encontrarse entre sí.
Gate valve
Válvula de paso total con una placa deslizante que aísla una bomba de alto vacío o una cámara de carga del resto de la cámara.