La suma de todas las fuentes de gas que entran en un sistema de vacío, expresada como un throughput en mbar·L/s o Torr·L/s: flujo de proceso, fugas reales, fugas virtuales, desgasificación, permeación y retrodifusión. La presión en estado estacionario equivale a la carga de gas dividida por la velocidad de bombeo efectiva, por lo que reducir la carga suele ser más barato que comprar una bomba más grande. En una cámara de alto vacío sin desgasificar por calor, el agua que se desprende de las paredes suele ser el término más importante.
Gas load from that new polymer fixture is killing us, base went from 1E-7 to 5E-6 the day we installed it.
En español sencillo La gas load de ese nuevo accesorio de polímero nos está matando, la base pasó de 1E-7 a 5E-6 el día que lo instalamos.
También se escucha como
- load
Términos relacionados
Throughput
Cantidad de gas que fluye por un punto cada segundo, calculada como presión por volumen, en unidades como mbar·L/s.
Outgassing
Liberación lenta de gas desde las superficies y el interior de los materiales dentro de un sistema de vacío.
Permeation
Paso de gas a través de las paredes sólidas o juntas de un sistema de vacío al disolverse y difundirse por ellas.
Effective pumping speed
La velocidad de bombeo real que llega a la cámara tras las pérdidas en las tuberías y válvulas de conexión.
Virtual leak
Gas atrapado en una cavidad oculta dentro del vacío que se libera lentamente y se comporta como una pequeña fuga real.