Cualquier bomba de vacío primario o de respaldo que comprime el gas sin fluido de sellado en el volumen de barrido: diseños de espiral, tornillo, garras, Roots multietapa y diafragma. Las fábricas de semiconductores instalan bombas secas multietapa de tornillo o de garras Roots en casi todas las herramientas de proceso porque toleran escapes corrosivos y cargados de partículas y no añaden hidrocarburos a la línea. Cuestan más que las bombas selladas por aceite y a menudo necesitan purga de nitrógeno y agua de refrigeración.
Dry pump on etch 4 tripped on high current again, probably process byproducts caking in the stages.
En español sencillo La dry pump del equipo de grabado 4 se detuvo por sobrecorriente otra vez, probablemente subproductos del proceso acumulándose en las etapas.
También se escucha como
- dry vacuum pump
- dry roughing pump
No lo confunda con
- Rotary vane pump: Una bomba de paletas rotativas necesita aceite para sellar sus holguras y se considera una bomba húmeda, mientras que una bomba seca no tiene fluido en la trayectoria del gas.
Términos relacionados
Scroll pump
Bomba seca que comprime el gas entre una espiral fija y una espiral orbital, sin aceite en la trayectoria del gas.
Rotary vane pump
Bomba de desplazamiento positivo sellada por aceite en la que paletas deslizantes barren el gas alrededor de un rotor excéntrico.
Roughing pump
Bomba que lleva una cámara desde la presión atmosférica hasta la presión en la que la bomba de alto vacío puede tomar el relevo.
Backstream
Flujo de aceite o vapor de la bomba en sentido contrario, desde la bomba hacia la cámara.