Gasstrom ausgedrückt als Druck mal Volumenstrom, Q = p·S, in mbar·L/s, Torr·L/s oder Pa·m³/s. Da er die Gasmenge und nicht das Volumen erfasst, bleibt der Durchsatz (Throughput) entlang einer Pumpleitung im stationären Zustand erhalten: Das Gas, das die Kammer verlässt, ist das Gas, das an der Vorpumpe ankommt. Ingenieure nutzen ihn zur Auslegung von Vorpumpen, zur Prüfung, ob eine Turbopumpe einen Prozessgasstrom bewältigen kann, und um Leckraten und Ausgasungen in denselben Einheiten darzustellen.
Process flow is 200 sccm, that's about 3.4 mbar-litres a second of throughput the turbo has to swallow.
In klarem Deutsch Der Prozessgasstrom beträgt 200 sccm, das entspricht etwa 3,4 mbar-Litern pro Sekunde an Throughput, den die Turbo bewältigen muss.
Um eine Vorpumpe auszulegen, teilen Sie den maximalen Durchsatz (throughput) der Hochvakuumpumpe durch den höchsten Vorvakuumsdruck, den sie verträgt. Das ist das minimale Saugvermögen der Vorpumpe.
Auch bekannt als
- Q
- gas throughput
- pV flow
Verwandte Begriffe
Pumping speed
Gasvolumen, das eine Pumpe pro Zeiteinheit aus ihrem Einlass entfernt, gemessen beim Einlassdruck.
Conductance
Wie leicht ein Rohr, eine Blende oder ein Ventil Gas durchlässt, ausgedrückt in Litern pro Sekunde.
sccm
Standard-Kubikzentimeter pro Minute: eine Massenflusseinheit für Prozessgase, bezogen auf 0 °C und 1 atm.
Backing pump
Pumpe, die den Auslass einer Turbo-, Diffusions- oder Wälzkolbenpumpe unter ihrem maximal zulässigen Druck hält.