Le verbe courant pour désigner tout essai d'étanchéité, depuis une pulvérisation rapide d'hélium sur une bride fraîchement remplacée jusqu'au test de réception complet d'une nouvelle chambre. Dans les usines de fabrication de semi-conducteurs, un leak check est une étape obligatoire après la maintenance avant qu'un équipement ne retourne en production, enregistrée avec la valeur mesurée. Une étiquette indiquant leak-checked signifie que quelqu'un a surveillé le détecteur pendant que chaque joint ouvert était pulvérisé et n'a rien vu au-dessus de la spécification.
Swapped the gate valve, leak checked it at 5E-11, putting the tool back up for quals.
En français simple J'ai remplacé la vanne tiroir, fait un leak check à 5E-11, et je remets l'équipement en route pour les qualifications.
Aussi entendu sous
- leak-check
- leak test
- LC
Termes associés
Helium spray test
Essai de fuite de l'extérieur vers l'intérieur : de l'hélium est pulvérisé sur une pièce sous vide pendant qu'un détecteur le surveille à l'intérieur.
Helium leak detector
Spectromètre de masse calé sur l'hélium qui trouve et mesure les fuites en détectant l'hélium aspiré dans le système.
Chase a leak
Traquer une fuite d'emplacement inconnu joint par joint, souvent pendant des heures, jusqu'à en identifier la source.
Rate of rise
Test consistant à isoler une chambre pompée et à suivre la vitesse de remontée de la pression pour estimer les fuites et le dégazage.