Ein Bullseye ist eine Waferkarte, bei der Fehler oder Parameterwerte einen zentralen Punkt, einen Ring oder eine Reihe konzentrischer Bänder bilden. Viele Halbleiterprozessschritte sind radialsymmetrisch, wie z. B. Rotationsbeschichtung, Einzelsubstrat-Ätzen und -Abscheidung, CMP und Wafererwärmung. Ein Bullseye deutet daher meist auf einen dieser Schritte hin: in der Mitte schnelleres Ätzen, ein Temperaturgradient auf dem Chuck oder ein CMP-Profil von der Mitte zum Rand. Das Gegenstück dazu ist der Randring, bei dem sich die Fehler auf den äußeren Millimetern konzentrieren.
Bullseye on the Vt map, center die are 20 millivolts high. Smells like the anneal chuck again.
In klarem Deutsch Bullseye auf der Vt-Karte, die mittleren Die sind um 20 Millivolt zu hoch. Riecht mal wieder nach dem Anneal-Chuck.
Auch bekannt als
- donut
- center spot
Verwandte Begriffe
Wafer map
Grafische Darstellung eines Wafers, die das Testergebnis oder den Messwert jedes Chips nach Position zeigt, um räumliche Fehlermuster zu erkennen.
Bin
Testkategorie, in die jeder Chip oder jede Einheit beim Testen oder Endtest einsortiert wird, wobei Bin 1 meist für gut steht.
Yield
Anteil der guten Einheiten, die bei einem Prozessschritt oder im gesamten Prozess entstehen, die wichtigste Kennzahl für jede Produktionslinie.
Excursion
Plötzliche Abweichung der Ausbeute, der Defektzahlen oder eines Schlüsselparameters aus dem normalen Bereich, die groß genug ist, um Sperren und eine Untersuchung auszulösen.