Un bullseye es un mapa de oblea donde los fallos o los valores de los parámetros forman un punto central, un anillo o un conjunto de bandas concéntricas. Muchos pasos de la fabricación de semiconductores son radialmente simétricos, como el recubrimiento por centrifugación, el grabado y deposición en oblea única, la CMP y el calentamiento de la oblea, por lo que un bullseye suele apuntar a uno de ellos: grabado más rápido en el centro, un gradiente de temperatura del soporte o un perfil de CMP del centro al borde. Su contrapartida es el anillo de borde, con fallos concentrados en los últimos milímetros exteriores.
Bullseye on the Vt map, center die are 20 millivolts high. Smells like the anneal chuck again.
En español sencillo Hay un bullseye en el mapa de Vt, los chips del centro están 20 milivoltios por encima. Huele otra vez al soporte de recocido.
También se escucha como
- donut
- center spot
Términos relacionados
Wafer map
Imagen de una oblea que muestra el resultado de la prueba o medición de cada troquel por ubicación, utilizada para detectar patrones espaciales de fallo.
Bin
Categoría de prueba en la que se clasifica cada troquel o unidad en la prueba de sondas o en la prueba final, donde la categoría 1 suele significar conforme.
Yield
Fracción de unidades que resultan conformes en una etapa o en todo un proceso, la cifra clave para cualquier línea de producción.
Excursion
Desviación repentina del rendimiento, del recuento de defectos o de un parámetro clave fuera de su franja normal, lo bastante grande como para activar retenciones y una investigación.