Bullseye
Bullseye taucht in 2 Fachgebieten auf: Statistik, Keramik & Glas. Hier ist, was es für die Fachleute im jeweiligen Bereich bedeutet.
Bullseye in Statistik
Waferkartenmuster aus konzentrischen Ringen oder einem zentralen Punkt, das Anzeichen für eine radiale Prozessinhomogenität ist.
Ein Bullseye ist eine Waferkarte, bei der Fehler oder Parameterwerte einen zentralen Punkt, einen Ring oder eine Reihe konzentrischer Bänder bilden. Viele Halbleiterprozessschritte sind radialsymmetrisch, wie z. B. Rotationsbeschichtung, Einzelsubstrat-Ätzen und -Abscheidung, CMP und Wafererwärmung. Ein Bullseye deutet daher meist auf einen dieser Schritte hin: in der Mitte schnelleres Ätzen, ein Temperaturgradient auf dem Chuck oder ein CMP-Profil von der Mitte zum Rand. Das Gegenstück dazu ist der Randring, bei dem sich die Fehler auf den äußeren Millimetern konzentrieren.
"Bullseye on the Vt map, center die are 20 millivolts high. Smells like the anneal chuck again."
Bullseye in Keramik & Glas
Der dicke zentrale Knopf einer geschleuderten Glasscheibe, der die Narbe des Hefteisens enthält.
Eine gebräuchliche Bezeichnung für die dicke, kreisförmige Mitte eines Stücks Mondglas, die dort entstand, wo das Glas während des Schleuderns am Hefteisen befestigt war. Sie weist eine markante Narbe und deutliche konzentrische Wellen auf. Ursprünglich als minderwertiges Nebenprodukt der Fensterglasherstellung angesehen, werden diese Stücke heute oft dekorativ in Türen und Oberlichtern verwendet.
"We need three more bullseye panes to finish the transom window above the main door."