Die Defect density (Defektdichte), oft als D0 geschrieben, zählt die tödlichen Defekte pro Quadratzentimeter. Das einfache Poisson-Ertragsmodell prognostiziert den Chip-Ertrag als e hoch minus Chipfläche mal D0: Ein 1 Quadratzentimeter großer Chip bei einer D0 von 0,1 liefert etwa 90 Prozent Ertrag, bei 0,5 dagegen nur etwa 61 Prozent. Da reale Defekte gehäuft auftreten, passen das Murphy-Modell oder ein negatives Binomialmodell mit einem Clusterfaktor besser zu großen Chips und prognostizieren einen höheren Ertrag als das einfache Poisson-Modell.
D0 came down from 0.25 to 0.12 after the filter change. On a 1 square centimeter die that's about eleven points of yield.
In klarem Deutsch D0 sank nach dem Filterwechsel von 0,25 auf 0,12. Bei einem 1 Quadratzentimeter großen Chip entspricht das etwa elf Prozentpunkten mehr Yield.
Auch bekannt als
- D0
- D-naught
- defects per square centimeter
Verwandte Begriffe
Yield
Anteil der guten Einheiten, die bei einem Prozessschritt oder im gesamten Prozess entstehen, die wichtigste Kennzahl für jede Produktionslinie.
Killer defect
Defekt, der an einer Stelle auftritt, an der er zum Ausfall eines Die führt, im Gegensatz zu einem harmlosen kosmetischen Defekt oder einem Scheindefekt.
Wafer map
Grafische Darstellung eines Wafers, die das Testergebnis oder den Messwert jedes Chips nach Position zeigt, um räumliche Fehlermuster zu erkennen.
DPMO
Fehler pro Million Möglichkeiten: Fehleranzahl skaliert mit der Anzahl der Fehlermöglichkeiten in jeder Einheit.