Ein Golden wafer, eine Golden unit oder ein Golden sample ist ein gut charakterisiertes Referenzobjekt, das sorgfältig gelagert und regelmäßig, nach Wartungsarbeiten sowie während des Tool matching, durch ein Messgerät oder einen Tester gefahren wird. Da sich das Objekt selbst nicht verändern sollte, ist jede Veränderung der Messwerte ein Zeichen für eine Drift des Messgeräts. Golden wafer verschlechtern sich jedoch durch natürliches Oxidwachstum, Kontamination oder Sondenverschleiß, weshalb Messstellen rotieren und Backups vorab qualifiziert werden.
Ran the golden wafer after the source swap and it reads 0.6 nm thick against its baseline. Recal before we release the tool.
In klarem Deutsch Habe den Golden wafer nach dem Quellenwechsel gemessen und er ist im Vergleich zu seiner Baseline 0,6 nm zu dick. Rekalibrieren, bevor wir die Anlage freigeben.
Auch bekannt als
- golden unit
- golden sample
- reference wafer
- check standard
Verwandte Begriffe
Tool matching
Abstimmung mehrerer Anlagen oder Kammern, die denselben Schritt ausführen, sodass sie auf demselben Material dieselben Ergebnisse liefern.
Bias
Systematische Abweichung (Bias) zwischen dem Mittelwert wiederholter Messungen und dem wahren Wert oder Referenzwert.
MSA
Measurement systems analysis: die Gesamtheit der Studien, die belegen, dass ein Messgerät für die Entscheidungen, die auf seinen Daten basieren, geeignet ist.
Drift
Langsame, stetige schleichende Veränderung eines Prozess- oder Messwerts in eine Richtung durch Verschleiß, Erschöpfung oder Alterung.