Bias ist die Differenz zwischen dem Mittelwert vieler Messungen an einem Referenzteil und dem akzeptierten Wert dieses Teils. Im Gegensatz zu zufälligem Rauschen verringert er sich nicht durch Mittelwertbildung, sodass er durch Messen eines kalibrierten Standards ermittelt und dann durch Kalibrierung oder einen Offset beseitigt werden muss. Linearität ist ein Bias, der sich über den Messbereich hinweg verändert, beispielsweise wenn ein Messgerät am unteren Ende korrekt misst, am oberen Ende jedoch um 2 Mikrometer zu hoch anzeigt.
There's a 1.2 nm bias between the two SEMs. Same wafers, same sites, tool B always reads high.
In klarem Deutsch Es gibt einen Bias von 1,2 nm zwischen den beiden SEMs. Dieselben Wafer, dieselben Stellen, Tool B misst immer zu hoch.
Auch bekannt als
- offset
- systematic error
Nicht zu verwechseln mit
- Repeatability: Repeatability ist die zufällige Streuung um den eigenen Mittelwert des Messgeräts; Bias ist der Abstand dieses Mittelwerts zum wahren Wert.
Verwandte Begriffe
Repeatability
Streuung der Messwerte, wenn dieselbe Person und dasselbe Messgerät dasselbe Teil immer wieder unter unveränderten Bedingungen messen.
Tool matching
Abstimmung mehrerer Anlagen oder Kammern, die denselben Schritt ausführen, sodass sie auf demselben Material dieselben Ergebnisse liefern.
MSA
Measurement systems analysis: die Gesamtheit der Studien, die belegen, dass ein Messgerät für die Entscheidungen, die auf seinen Daten basieren, geeignet ist.
Golden wafer
Referenzwafer oder Referenzteil, das beiseitegelegt und regelmäßig gemessen wird, um zu prüfen, ob eine Anlage oder ein Messgerät gedriftet ist.