El Bias es la diferencia entre la media de muchas mediciones de una pieza de referencia y el valor aceptado de esa pieza. A diferencia del ruido aleatorio, no disminuye al promediar, por lo que debe determinarse midiendo un patrón calibrado y luego eliminarse mediante calibración o un desfase. La linealidad es un bias que cambia a lo largo del rango de medición, como un calibre que lee correctamente en el extremo inferior y 2 micras por encima en el extremo superior.
There's a 1.2 nm bias between the two SEMs. Same wafers, same sites, tool B always reads high.
En español sencillo Hay un bias de 1,2 nm entre los dos SEM. Mismas obleas, mismos puntos, la herramienta B siempre mide por encima.
También se escucha como
- offset
- systematic error
No lo confunda con
- Repeatability: La repetibilidad es la dispersión aleatoria alrededor del propio promedio del calibre; el bias es la distancia a la que se encuentra ese promedio con respecto al valor verdadero.
Términos relacionados
Repeatability
Dispersión en las lecturas cuando una persona y un calibre miden la misma pieza una y otra vez sin cambiar nada más.
Tool matching
Lograr que varias herramientas o cámaras que ejecutan el mismo paso produzcan los mismos resultados en el mismo material.
MSA
Análisis de sistemas de medición: el conjunto de estudios que demuestran que un calibre es adecuado para las decisiones que impulsarán sus datos.
Golden wafer
Oblea o pieza de referencia que se guarda y se mide periódicamente para comprobar que una herramienta o calibre no se ha desviado.