El tool matching compara dos o más herramientas procesando las mismas obleas o piezas en cada una y analizando las diferencias en el desfase y la dispersión, para luego ajustar el hardware, las calibraciones o las recetas hasta que coincidan dentro de una especificación de emparejamiento. Se aplica a las herramientas de proceso, donde las cámaras desajustadas crean variación de lote a lote, y a las herramientas de metrología, donde un desajuste parece un cambio de proceso cada vez que los lotes se mueven entre calibres.
Chamber C fails tool matching by 4 angstroms. Keep it out of dispatch until the heater calibration is redone.
En español sencillo La cámara C falla en el tool matching por 4 ángstroms. No la incluyan en el despacho hasta que se vuelva a calibrar el calentador.
Realice el acoplamiento tanto en obleas de producto como en monitores de prueba. Las herramientas pueden coincidir en películas planas y aun así diferir en características con patrones.
También se escucha como
- chamber matching
- tool-to-tool matching
- fleet matching
Términos relacionados
Reproducibility
Variación en los resultados de la medición cuando diferentes operadores, calibres o configuraciones miden los mismos elementos.
Bias
Desviación sistemática entre el promedio de mediciones repetidas y el valor verdadero o de referencia.
Golden wafer
Oblea o pieza de referencia que se guarda y se mide periódicamente para comprobar que una herramienta o calibre no se ha desviado.
Variance components
Desglose de la variación total en las partes aportadas por cada fuente, como el lote, la oblea, el punto y la medición.