Tool matching vergleicht zwei oder mehr Anlagen, indem dieselben Wafer oder Teile durch jede Anlage gefahren werden und die Unterschiede in Offset und Streuung analysiert werden. Anschließend werden Hardware, Kalibrierungen oder Rezepte angepasst, bis sie innerhalb einer Matching-Spezifikation übereinstimmen. Dies gilt für Prozessanlagen, bei denen nicht abgestimmte Kammern zu Abweichungen von Charge zu Charge führen, sowie für Messgeräte, bei denen eine mangelnde Abstimmung wie eine Prozessverschiebung aussieht, sobald Chargen zwischen Messgeräten wechseln.
Chamber C fails tool matching by 4 angstroms. Keep it out of dispatch until the heater calibration is redone.
In klarem Deutsch Kammer C fällt beim Tool matching um 4 Angström durch. Halten Sie sie aus der Produktion heraus, bis die Heizungskalibrierung neu durchgeführt wurde.
Führen Sie das Matching sowohl auf Produktwafern als auch auf unstrukturierten Testwafern durch. Anlagen können bei flachen Schichten übereinstimmen und bei strukturierten Merkmalen dennoch voneinander abweichen.
Auch bekannt als
- chamber matching
- tool-to-tool matching
- fleet matching
Verwandte Begriffe
Reproducibility
Abweichung der Messergebnisse, wenn verschiedene Bediener, Messgeräte oder Setups dieselben Objekte messen.
Bias
Systematische Abweichung (Bias) zwischen dem Mittelwert wiederholter Messungen und dem wahren Wert oder Referenzwert.
Golden wafer
Referenzwafer oder Referenzteil, das beiseitegelegt und regelmäßig gemessen wird, um zu prüfen, ob eine Anlage oder ein Messgerät gedriftet ist.
Variance components
Aufteilung der Gesamtvarianz in die Anteile der einzelnen Quellen wie Charge, Wafer, Messstelle und Messung.