Eine Varianzkomponentenanalyse (Variance components analysis) passt ein geschachteltes oder gekreuztes Zufallseffektmodell mittels ANOVA oder Maximum-Likelihood an, um zu schätzen, wie viel Varianz jede Ebene beiträgt. In einer Fab könnte ein geschachteltes Design 3 Messstellen auf jedem von 2 Wafern aus 10 Chargen bemustern und feststellen, dass die Varianz von Charge zu Charge 70 Prozent der Gesamtvarianz ausmacht, von Wafer zu Wafer 20 und innerhalb des Wafers 10. Die größte Komponente zeigt der Technik, wo sich Verbesserungsaufwand auszahlt.
Variance components say 65 percent is lot-to-lot. Tuning the within-wafer profile won't move Ppk much.
In klarem Deutsch Die Variance components zeigen, dass 65 Prozent auf Charge-zu-Charge-Unterschiede entfallen. Die Optimierung des Profils innerhalb des Wafers wird den Ppk-Wert nicht viel verändern.
Auch bekannt als
- components of variance
Verwandte Begriffe
ANOVA
Analysis of variance (Varianzanalyse): Aufteilung der Gesamtabweichung in Anteile der einzelnen Faktoren und des Fehlers, um zu prüfen, welche Anteile real sind.
Gauge R&R
Studie, die misst, wie viel der beobachteten Abweichung auf die Wiederholbarkeit und Vergleichbarkeit des Messsystems zurückzuführen ist.
Ppk
Prozessleistungsindex: ein dem Cpk ähnlicher Wert, der mit der Gesamtstandardabweichung berechnet wird und die langfristige Streuung erfasst.
Rational subgroup
Gruppe von Messwerten, die so ausgewählt wird, dass innerhalb der Gruppe nur gewöhnliche, kurzfristige Schwankungen auftreten können.