Variance components

nomTerme techniqueStatistiques

Décomposition de la variation totale en parts attribuées à chaque source, comme le lot, la plaquette, le site et la mesure.

Une analyse des Variance components (composantes de la variance) ajuste un modèle d'effets aléatoires imbriqués ou croisés, par ANOVA ou par maximum de vraisemblance, pour estimer la part de variance apportée par chaque niveau. Dans une usine de fabrication de puces, un plan imbriqué peut échantillonner 3 sites sur chacune des 2 plaquettes de 10 lots et révéler que la variance de lot à lot représente 70 pour cent du total, de plaquette à plaquette 20 pour cent et à l'intérieur d'une plaquette 10 pour cent. La composante la plus importante indique aux ingénieurs où les efforts d'amélioration seront les plus rentables.

Entendu sur le terrain

Variance components say 65 percent is lot-to-lot. Tuning the within-wafer profile won't move Ppk much.

En français simple Les Variance components indiquent que 65 pour cent de la variation provient de lot à lot. Ajuster le profil à l'intérieur de la plaquette n'améliorera pas beaucoup le Ppk.

Aussi entendu sous

  • components of variance