Un Golden wafer (plaquette témoin), une unité témoin ou un échantillon témoin est un élément de référence bien caractérisé, stocké avec soin et passé périodiquement sur un outil de métrologie ou un testeur, après une maintenance et lors du tool matching. Comme l'élément lui-même ne doit pas changer, toute variation de ses mesures indique une dérive de l'instrument. Les golden wafers se dégradent toutefois avec le temps, par croissance d'oxyde natif, contamination ou usure des sondes, c'est pourquoi on alterne les sites de mesure et on qualifie des solutions de secours à l'avance.
Ran the golden wafer after the source swap and it reads 0.6 nm thick against its baseline. Recal before we release the tool.
En français simple J'ai passé le golden wafer après le remplacement de la source et il indique une épaisseur de 0,6 nm par rapport à sa référence. Recalibrez avant de libérer l'outil.
Aussi entendu sous
- golden unit
- golden sample
- reference wafer
- check standard
Termes associés
Tool matching
Action de faire en sorte que plusieurs outils ou chambres exécutant la même étape produisent les mêmes résultats sur le même matériau.
Bias
Décalage systématique entre la moyenne de mesures répétées et la valeur réelle ou de référence.
MSA
Measurement systems analysis : l'ensemble des études qui prouvent qu'un instrument de mesure est adapté aux décisions que ses données vont orienter.
Drift
Dérive lente et régulière d'une mesure de procédé ou d'instrument dans une direction à mesure que quelque chose s'use, s'épuise ou vieillit.