Una golden wafer, unidad de oro o muestra de oro es un elemento de referencia bien caracterizado que se almacena con cuidado y se pasa por una herramienta de metrología o un equipo de prueba de forma programada, después del mantenimiento y durante el tool matching. Dado que el elemento en sí no debería cambiar, cualquier variación en sus lecturas indica que el calibre se está desviando. Las golden wafers se degradan debido al crecimiento de óxido nativo, la contaminación o el desgaste de las sondas, por lo que los puntos de medición se rotan y los respaldos se califican con antelación.
Ran the golden wafer after the source swap and it reads 0.6 nm thick against its baseline. Recal before we release the tool.
En español sencillo Pasé la golden wafer después del cambio de fuente y mide 0,6 nm de espesor con respecto a su línea base. Vuelvan a calibrar antes de liberar la herramienta.
También se escucha como
- golden unit
- golden sample
- reference wafer
- check standard
Términos relacionados
Tool matching
Lograr que varias herramientas o cámaras que ejecutan el mismo paso produzcan los mismos resultados en el mismo material.
Bias
Desviación sistemática entre el promedio de mediciones repetidas y el valor verdadero o de referencia.
MSA
Análisis de sistemas de medición: el conjunto de estudios que demuestran que un calibre es adecuado para las decisiones que impulsarán sus datos.
Drift
Desviación lenta y constante de la lectura de un proceso o instrumento en una dirección a medida que algo se desgasta, se agota o envejece.