Le Bias (biais) est la différence entre la moyenne de nombreuses mesures d'une pièce de référence et la valeur acceptée de cette pièce. Contrairement au bruit aléatoire, il ne diminue pas avec le calcul de la moyenne, il doit donc être détecté en mesurant un étalon calibré, puis éliminé par étalonnage ou par un décalage. La linéarité est un bias qui varie sur l'ensemble de la plage de mesure, par exemple un instrument qui indique la valeur exacte dans la plage basse et qui affiche 2 microns de trop dans la plage haute.
There's a 1.2 nm bias between the two SEMs. Same wafers, same sites, tool B always reads high.
En français simple Il y a un bias de 1,2 nm entre les deux MEB. Mêmes plaquettes, mêmes sites, l'outil B donne toujours une valeur supérieure.
Aussi entendu sous
- offset
- systematic error
Ne pas confondre avec
- Repeatability: La Repeatability (répétabilité) est la dispersion aléatoire autour de la propre moyenne de l'instrument de mesure; le bias est l'écart entre cette moyenne et la valeur réelle.
Termes associés
Repeatability
Dispersion des mesures lorsqu'une seule personne et un seul instrument mesurent la même pièce à plusieurs reprises, sans aucun autre changement.
Tool matching
Action de faire en sorte que plusieurs outils ou chambres exécutant la même étape produisent les mêmes résultats sur le même matériau.
MSA
Measurement systems analysis : l'ensemble des études qui prouvent qu'un instrument de mesure est adapté aux décisions que ses données vont orienter.
Golden wafer
Plaquette ou pièce de référence conservée à part et mesurée périodiquement pour vérifier qu'un outil ou un instrument de mesure n'a pas dérivé.