Le Tool matching (alignement des équipements) compare deux ou plusieurs outils en faisant passer les mêmes plaquettes ou pièces dans chacun d'eux et en analysant les différences de décalage et de dispersion, puis en ajustant le matériel, les étalonnages ou les recettes jusqu'à ce qu'ils s'accordent dans les limites d'une spécification d'alignement. Il s'applique aux outils de procédé, où des chambres mal alignées créent des variations de lot à lot, et aux outils de métrologie, où un désalignement ressemble à une dérive de procédé chaque fois que les lots passent d'un instrument de mesure à un autre.
Chamber C fails tool matching by 4 angstroms. Keep it out of dispatch until the heater calibration is redone.
En français simple La chambre C échoue au tool matching de 4 angströms. Gardez-la hors de la production tant que l'étalonnage du réchauffeur n'est pas refait.
Effectuez le matching sur des plaquettes de production ainsi que sur des moniteurs vierges. Les outils peuvent s'accorder sur des films plats et diverger sur des motifs structurés.
Aussi entendu sous
- chamber matching
- tool-to-tool matching
- fleet matching
Termes associés
Reproducibility
Variation des résultats de mesure lorsque différents opérateurs, instruments ou configurations mesurent les mêmes éléments.
Bias
Décalage systématique entre la moyenne de mesures répétées et la valeur réelle ou de référence.
Golden wafer
Plaquette ou pièce de référence conservée à part et mesurée périodiquement pour vérifier qu'un outil ou un instrument de mesure n'a pas dérivé.
Variance components
Décomposition de la variation totale en parts attribuées à chaque source, comme le lot, la plaquette, le site et la mesure.