Un killer defect présente la taille, le type et l'emplacement nécessaires pour couper un circuit : une particule reliant deux lignes, un vide dans un via, une rupture de motif. Les outils d'inspection détectent beaucoup plus de défauts qu'il n'y en a de destructeurs, c'est pourquoi les ingénieurs de rendement estiment un taux de destruction pour chaque classe de défauts, la fraction qui finit par donner une puce défaillante, en superposant les cartes de défauts sur les cartes de tri. Le fait qu'un défaut soit un killer defect dépend fortement de sa taille par rapport à l'espacement des motifs sur cette couche.
Most of those adders are nuisance, but the big particles on metal 2 are killers. Kill ratio's running near 60 percent.
En français simple La plupart de ces adders sont mineurs, mais les grosses particules sur le métal 2 sont des killers. Le taux de destruction tourne autour de 60 pour cent.
Aussi entendu sous
- killer
- yield killer
Termes associés
Defect density
Nombre de défauts critiques par unité de surface de plaquette ou de panneau, principale donnée d'entrée des modèles de rendement.
Yield
Fraction d'unités conformes produites à une étape ou sur l'ensemble d'un processus, le chiffre clé de toute ligne de production.
Wafer map
Représentation visuelle d'une plaquette montrant le résultat de test ou la mesure de chaque puce par emplacement, utilisée pour repérer les motifs spatiaux de défaillance.
Excursion
Écart soudain du rendement, du nombre de défauts ou d'un paramètre clé par rapport à sa plage normale, assez important pour déclencher des blocages et une enquête.