Un instrument optique de précision utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs pour aligner un photomasque avec une plaquette de silicium (wafer) et l'exposer à la lumière ultraviolette. Ce processus transfère la conception complexe du circuit sur la couche de résine photosensible qui recouvre la plaquette. Les anciens aligneurs par contact (contact aligner) touchaient physiquement le masque sur la plaquette, tandis que les aligneurs par projection utilisent des lentilles pour projeter l'image sans contact, évitant ainsi d'endommager le masque et permettant des motifs plus fins.
The mask aligner needs a bulb replacement before we can run the next batch of wafers.
En français simple L'aligner de masque a besoin d'un remplacement d'ampoule avant que nous puissions lancer le prochain lot de plaquettes.
Dans la fabrication à grand volume, les aligners de plaquettes complètes ont été largement remplacés par des répéteurs optiques (steppers) et des scanners, qui exposent la plaquette par petites sections de grille pour obtenir une précision bien plus élevée.
Aussi entendu sous
- mask aligner