Dans la fabrication des semi-conducteurs et la physique du solide, une particule chargée (charged particle) est généralement un électron, un proton ou un ion qui porte une charge électrique positive ou négative. Ces particules sont les porteurs fondamentaux de courant dans les composants électroniques. Les ingénieurs manipulent leurs trajectoires à l'aide de champs électriques et magnétiques dans des processus tels que l'implantation ionique, la lithographie par faisceau d'électrons et la spectrométrie de masse.
We need to calibrate the magnetic lenses to ensure the charged particle beam focuses exactly on the resist layer.
En français simple Nous devons calibrer les lentilles magnétiques pour nous assurer que le faisceau de charged particle se focalise exactement sur la couche de résine.
Termes associés
Vacuum tube
Une enveloppe de verre ou de métal sous vide contenant des électrodes utilisées pour contrôler le flux d'électrons.
Space charge
Une accumulation localisée d'excès de charge électrique dans une région spécifique d'un composant.
Polarization charge
La charge liée qui s'accumule dans un matériau diélectrique lorsqu'il est exposé à un champ électrique.