In der Halbleiterfertigung und Festkörperphysik ist ein Charged particle (geladenes Teilchen) typischerweise ein Elektron, ein Proton oder ein Ion, das eine positive oder negative elektrische Ladung trägt. Diese Teilchen sind die fundamentalen Ladungsträger in elektronischen Bauelementen. Ingenieure manipulieren ihre Flugbahnen mithilfe von elektrischen und magnetischen Feldern in Prozessen wie der Ionenimplantation, der Elektronenstrahllithografie und der Massenspektrometrie.
We need to calibrate the magnetic lenses to ensure the charged particle beam focuses exactly on the resist layer.
In klarem Deutsch Wir müssen die magnetischen Linsen kalibrieren, um sicherzustellen, dass der Charged particle-Strahl exakt auf der Resistschicht fokussiert ist.
Verwandte Begriffe
Vacuum tube
Ein evakuierter Glas- oder Metallkolben mit Elektroden zur Steuerung des Elektronenflusses.
Space charge
Eine lokalisierte Ansammlung von überschüssiger elektrischer Ladung in einem bestimmten Bereich eines Bauteils.
Polarization charge
Die gebundene Ladung, die sich in einem dielektrischen Material ansammelt, wenn es einem elektrischen Feld ausgesetzt wird.