Ein optisches Präzisionsinstrument, das in der Halbleiterfertigung verwendet wird, um eine Fotomaske auf einen Siliziumwafer auszurichten und ihn mit ultraviolettem Licht zu belichten. Dieser Prozess überträgt das komplexe Schaltungsdesign auf die Fotolackschicht, mit der der Wafer beschichtet ist. Ältere Kontaktbelichter berührten die Maske physisch mit dem Wafer, während Projektionsbelichter Linsen verwenden, um das Bild kontaktlos zu projizieren, was Maskenschäden verhindert und feinere Strukturgrößen ermöglicht.
The mask aligner needs a bulb replacement before we can run the next batch of wafers.
In klarem Deutsch Der Masken-aligner benötigt einen Lampenwechsel, bevor wir die nächste Charge Wafer verarbeiten können.
In der Massenfertigung wurden Ganzwafer-Aligner weitgehend durch Stepper und Scanner ersetzt, die den Wafer in kleinen Rasterabschnitten belichten, um eine viel höhere Präzision zu erreichen.
Auch bekannt als
- mask aligner