Décrit un système de lentilles haut de gamme qui réalise une correction chromatique apochromatique tout en aplatissant le plan focal. Ces lentilles éliminent les franges colorées sur un large spectre et maintiennent une netteté d'un bord à l'autre, ce qui les rend indispensables pour la microscopie haute résolution et la métrologie de précision où la dérive de mise au point à travers le champ est inacceptable.
Entendu sur le terrain
The planapochromatic objective costs ten times more, but we need it to resolve the sub-micron features across the entire wafer.
En français simple L'objectif planapochromatic coûte dix fois plus cher, mais nous en avons besoin pour résoudre les structures submicroniques sur l'ensemble de la plaquette.
Aussi entendu sous
- plan apochromat