LIGA ist ein deutsches Akronym für Lithographie, Galvanoformung und Abformung. Es ist ein Mikroverfahren, das hochenergetische Röntgenlithographie nutzt, um extrem präzise Formen mit hohem Aspektverhältnis in dicken Polymerschichten zu erzeugen. Diese Formen werden dann mittels Galvanik mit Metall gefüllt, um winzige, robuste mechanische Teile wie Mikrozahnräder, Sensoren und optische Komponenten herzustellen.
We're using a LIGA process to fabricate the microscopic copper coils for the new MEMS sensor.
In klarem Deutsch Wir nutzen ein LIGA-Verfahren, um die mikroskopischen Kupferspulen für den neuen MEMS-Sensor herzustellen.
Verwandte Begriffe
Wafer
Eine hochglanzpolierte Scheibe aus Halbleitermaterial, die als Grundlage für die Herstellung integrierter Schaltungen dient.
Layout
Die physische Anordnung von Bauteilen und Leiterbahnen auf einem Chip oder einer Leiterplatte.
Thin-film
Bezeichnet elektronische Bauelemente, die durch das Aufbringen mikroskopisch dünner Materialschichten auf ein Substrat hergestellt werden.