Polykristallines Silizium, ein Material, das aus mehreren kleinen Siliziumkristallen anstelle eines einzigen kontinuierlichen Kristallgitters besteht. In der Halbleiterherstellung wird stark dotiertes Polysilizium über dem Gate-Oxid abgeschieden, um die leitfähige Gate-Elektrode von MOSFETs zu bilden. Es wird auch zur Herstellung von On-Chip-Widerständen und lokalen Verbindungsleitungen verwendet.
The etcher is leaving stringers behind on the polysilicon layer, which is causing shorts between adjacent gates.
In klarem Deutsch Die Ätzanlage hinterlässt Rückstände auf der polysilicon Schicht, was zu Kurzschlüssen zwischen benachbarten Gates führt.
Im Werkstattjargon der Halbleiterfertigung kürzen Ingenieure dies fast immer zu "Poly" ab, wie in "Poly-Gate" oder "Poly-Schicht".
Auch bekannt als
- poly
- polycrystalline silicon
Verwandte Begriffe
Wafer
Eine hochglanzpolierte Scheibe aus Halbleitermaterial, die als Grundlage für die Herstellung integrierter Schaltungen dient.
MOSFET
Ein Metall-Oxid-Halbleiter-Feldeffekttransistor ist ein spannungsgesteuerter Schalter, der zum Verstärken oder Schalten elektronischer Signale verwendet wird.
CMOS
Komplementärer Metall-Oxid-Halbleiter ist die dominierende Herstellungstechnologie für integrierte Schaltungen.
Doped
Beschreibt ein reines Halbleitermaterial, das gezielt mit Verunreinigungen versetzt wurde, um seine elektrischen Eigenschaften zu verändern.